隨著半導(dǎo)體芯片制造技術(shù)的飛速發(fā)展，帶動了激光加工技術(shù)在半導(dǎo)體領(lǐng)域的應(yīng)用，以晶圓打標、晶圓切割應(yīng)用較多。晶圓激光打標可用于芯片追溯，要求字體清晰、深度可控，對激光器的穩(wěn)定性要求較高 。晶圓激光切割可分為開槽、半切、全切等。 隨著國內(nèi)激光器技術(shù)的不斷迭代，國產(chǎn)激光器已廣泛應(yīng)用于晶圓打標、切割等工序。
晶圓無粉塵標記
